W tym tygodniu Wrocławskie Centrum Badań EIT+ zaprezentowało laboratoria, które będą wchodzić w skład nowoczesnej strefy typu clean-room. Znajdą się tutaj urządzenia przeznaczone do mikro- oraz optoelektroniki.

Jest to jedno z najnowocześniejszych obszarów laboratoryjnych w Polsce.

Kilka dni temu odbyło się uroczyste otwarcie laboratorium, w którym udział wzięli m.in. Wicemarszałek Andrzej Kosiór, Prezes Zarządu Wrocławskiego Centrum Badań EIT+ prof. Jerzy Langer, Dyrektor Departamentu Nanotechnologii EIT+ prof. Detlef Hommel, a także prof. Shuji Nakamura – laureat Nagrody Nobla w dziedzinie fizyki w 2014 r. Przyjechał on na specjalne zaproszenie Uniwersytetu Wrocławskiego.

W strefie clean-room na Kampusie Prace, gdzie znajduje się EIT+, będą prowadzone badania z użyciem najnowocześniejszego klastra epitaksji MBE (osadzanie warstw za pomocą wiązek molekularnych) oraz reaktora MOCVD (osadzanie związków metaloorganicznych z fazy gazowej).

Do tego dojdzie jeszcze linia technologiczna, w skład której wchodzą między innymi: fotolitografia oraz nanoimprint, czyszczenie i wytrawianie podłoży na mokro oraz na sucho poprzez wytrawianie jonami wspomaganymi plazmą (ICP-RIE), osadzanie warstw metalicznych poprzez naparowanie (PVD) oraz z użyciem plazmy (ICPECVD), charakteryzacja wytwarzanych struktur i tzw. back-end.

– Te obszary będą stanowić jedne z głównych tematów badawczo-rozwojowych w EIT+. W tej chwili przygotowujemy do pracy najnowocześniejsze w Polsce laboratoria typu clean-room. To rodzaj pomieszczeń o kontrolowanych parametrach środowiskowych, w szczególności zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, itp. Dzięki nim będziemy mogli prowadzić specjalistyczne badania naukowe nad materiałami wymagającymi wysokiej czystości – mówi prof. Detlef Hommel z Wrocławskiego Centrum Badań EIT+.

Na czym polega działanie laboratorium typu clean-room? Jest to miejsce, w którym prowadzi się tałą kontrolę zanieczyszczeń typu: pył, kurz, bakterie, opary chemiczne, ale także rodzaj światła, kierunek przepływu powietrza, temperatura, ciśnienie, używane są do badań naukowych z materiałami wrażliwymi na zanieczyszczenia i wpływ warunków zewnętrznych. Można je wykorzystywać przede wszystkim przy produkcji materiałów o wysokiej czystości np. procesorów, tranzystorów oraz mikroczipów.

W EIT+ strefę typu clean-room będą tworzyć Laboratorium Epitaksji oraz Laboratorium Nanotechnologii Struktur Półprzewodnikowych, a użytkownicy będą mieli do dyspozycji pomieszczenia w klasach czystości od ISO5 do ISO7 o łącznej powierzchni ok. 580 m2. Strefa clean-room została utworzona w ramach projektu „DCMiB – Dolnośląskie Centrum Materiałów i Biomateriałów Wrocławskie Centrum Badań EIT+” w ramach Programu Operacyjnego Innowacyjna Gospodarka.

(KrzKr)